MarSurf | Weißlichtinterferometer

Die neue PrĂ€zision fĂŒr
extrem glatte OberflÀchen

MarSurf | Weißlichtinterferometer

Minimale Rauheiten auf den Nanometer genau

In der Medizintechnik, Halbleiterindustrie, optischen Industrie und anderen Branchen werden immer hĂ€ufiger extremst glatte OberflĂ€chen mit bestimmten Eigenschaften gefordert. Hier kommen die StĂ€rken der neue Mahr Weißlichtinterferometer zum Einsatz.

  • ICA-Technologie
    Ein speziell entwickelter Algorithmus sorgt fĂŒr die beste Korrelation

  • Optimales Signal-Rausch-VerhĂ€ltnis
    Minimales Rauschen von nur 80 Pikometern

  • Von manuell bis vollautomatisiert
    Drei GerÀte mit vielfÀltigen Einsatzmöglichkeiten

  • Großes Positioniervolumen
    Flexibles Messen von großen oder aufgespannten Bauteilen

ICA-Technologie

Durch einen ausgeklĂŒgelten Algorithmus, der sogenannte ICA-Technologie, werden die guten Eigenschaften der PSI- und VSI-Methoden kombiniert.
Das starke mathematische Verfahren bestimmt das statistische Korrelogramm der OberflĂ€che und schiebt es zum Vergleich â€žĂŒber“ die Messungen.

  • Verwendung von Phaseninformation und Amplitude
     
  • Keine Mittelung der Messdaten
     
  • Dank ICA-Technologie: maximale StabilitĂ€t und hohe Genauigkeit

Minimales Rauschen
von nur 80 Pikometern

Dadurch, dass ICA eine so exakte Bestimmung der Höhenwerte ermöglicht, minimiert sich gleichzeitig das Rauschen, was fĂŒr eine sehr hohe DatenqualitĂ€t sorgt.
Durch dieses sehr gute Signal-Rausch-VerhÀltnis erreicht die Mahr Technologie das QualitÀtslevel eines PSI mit nur 80 Pikometern (STR-Surface-Topografie-Repeatability), hat dabei aber eine deutlich bessere StabilitÀt und höhere ZuverlÀssigkeit.


Von manuell bis automatisiert

Das Portfolio der MarSurf WI Serie umfasst drei GerĂ€te mit spezifischen Vorteilen fĂŒr die Kunden.
 

  • WI 50 M: manuelle Allround-Einstiegslösung fĂŒr anspruchsvolle Messaufgaben
     
  • WI 50:  hochprĂ€zises Messtool fĂŒr Forschung und QualitĂ€tsmanagement
     
  • WI 100:  automatisierbares Profi-GerĂ€t mit erweiterter Z-Achse fĂŒr besonders große WerkstĂŒcke

Großes Positioniervolumen


Die GerĂ€te MarSurf WI 50M und WI 100 verfĂŒgen ĂŒber einen erweiterten Arbeitsbereich in XY- und besonders in Z-Richtung fĂŒr große Probevolumina: Beispiel WI 100: Einfach die seitliche zusĂ€tzliche manuelle Z-Achse verfahren und XXL-Bauteile messen.
 


Das motorisierte High-End-GerĂ€t MarSurf WI 100 zeichnet sich durch einen erweiterten Arbeitsbereich in XYZ-Richtung aus – einfach die seitliche Verstellung betĂ€tigen, mit der sich die zusĂ€tzliche manuelle Z-Achse verfahren lĂ€sst. Somit können auch eingespannte Bauteile im Werkzeughalter vermessen werden.

 

Intuitive Benutzersoftware

Messen, darstellen, auswerten: Mit den umfassenden Softwarelösungen von Mahr gelingt das intuitiv und effektiv. Eine Software fĂŒr Interferometer, konfokale Mikroskope und Profilometer. Weitere Vorteile:

  • Schnelles und sicheres Messen durch intuitive Bedienung
  • Klare und flexible Visualisierung der Ergebnisse 
  • Automatisierungsmöglichkeiten fĂŒr effiziente Serienmessungen

Die MarSurf 3D-Software ist seit vielen Jahren im Einsatz und etabliert. Beliebte Funktionen zur einfachen Messung sind:  

  • Snapshot-Technologie, um mit wenigen Klicks die Messung durchzufĂŒhren
  • Pre-Scan-Funktion zur schnellen Auswahl des Messbereiches 
  • Auto-Intensity und Auto-Range zur UnterstĂŒtzung der Nutzer
  • Template-Funktion fĂŒr wiederholende Messungen
  • Multi-Spot-Tool, um mehrere Messungen automatisiert durchzufĂŒhren
Klare Darstellung der Ergebnisse und einfache Dokumentation fĂŒr Rauheiten, Welligkeiten und vieles mehr:
  • Hochwertige 3D-Darstellung zur schnellen Übersicht
  • 2D- und 3D-Analyse nach gĂ€ngigen Normen (ISO 4287, 25178, 13565 ...)
  • Geometrie, Volumen, Kontur, CAD-Vergleich
  • Einfache Dokumentation mit on-the-fly bzw. nachtrĂ€glicher Analysemöglichkeit im Bericht

 

Messungen und Auswertungen automatisieren mit der MarSurf Automation Software

  • BenutzerunabhĂ€ngige Serienmessungen
  • Industrietauglichkeit
  • Verschiedene Messaufgaben und Auswertungen an einer Probe in einem Messrezept
  • Protokollerstellung, SPC-Kontrolle, QS-Stat-Ausgabe

Eine Philosophie

Ganz gleich, fĂŒr welches Mahr Messsystem Sie sich entscheiden: Die dazugehörige Software kennen Sie womöglich schon. Denn Mahr setzt bei allen Systemen der MarSurf 3D-Baureihe grundsĂ€tzlich auf dasselbe, klar strukturierte Software-Design, das sich vielfach in der Praxis bewĂ€hrt hat.

MarSurf WI | Vorstellung

Die neuen Interferometer im Fokus

Im Interview links werden kurz und knapp die Hauptvorteile der neuen Interferometer erklĂ€rt. Die einzelnen Produkte und weitere Informationen sowie Videos finden Sie in unserem Showroom.  

zum Showroom

Applikationen

Damit jedes Bauteil die maximale Performance leistet, mĂŒssen seine OberflĂ€chen immer hĂ€ufiger spezielle Charakteristika aufweisen. Das betrifft Formabweichungen und Rauheiten ebenso wie Welligkeiten oder geometrische Merkmale. Unsere Systeme finden Anwendungen in folgenden Branchen: Optik, Medizintechnik, Halbleiterindustrie, OberflĂ€chentechnik, Materialwissenschaft, Mikrosystemtechnik u.v.m.


Partikelanalyse

Erkennung und Klassifizierung von Partikeln, Körnern, Furchen, Texturen, HĂŒgeln und TĂ€lern

NĂ€chster Spot
Abstandsmessungen

Umfangreiche horizontale Distanzmessungen (x;y), Winkellagen und Neigungen

NĂ€chster Spot
2D-Rauheit (Rz)

Profilrauheit nach ISO 4287, ISO 13565, ASME B46.1, ISO 12085, VDA, SEP- o. MBN-Normen

NĂ€chster Spot
Volumen (V)

Volumenberechnungen von Mulden, HĂŒgeln, TĂ€lern, Spitzen und Partikeln

NĂ€chster Spot
Form

Formabweichung von planaren Konturen, Soll-/Istvergleich gegen CAD-Daten, Rundheitsauswertung gemĂ€ĂŸ ISO 12181

NĂ€chster Spot
3D-Rauheit

FlĂ€chenhafte Rauheitsauswertungen gemĂ€ĂŸ ISO 25178

NĂ€chster Spot
Ebenheit

Bestimmung der Ebenheit einer Gesamt- oder TeiloberflĂ€che z.B. gemĂ€ĂŸ  ISO 12781

NĂ€chster Spot
Error

Erkennung und Analyse von Defekten, OberflÀchenunvollkommenheiten und BeschÀdigungen

NĂ€chster Spot
Höhe

Distanzmessungen (z), Bestimmung von Maximal- und Durchschnittshöhen sowie Positionsdifferenzen

NĂ€chster Spot
Visuelle Betrachtung

Live-Betrachtungen  oder fotosimulierte Darstellungen in den Auswertungen sowie 3D-Betrachtungen

NĂ€chster Spot
Konturanalyse

Bestimmung von Radien, Kreisen, Kreisabschnitten sowie Winkelermittlung inkl. Auswertung von Halb- oder Gesamtwinkeln

NĂ€chster Spot
Profilabweichungen

Linienhafte Abweichungen gegenĂŒber einer Sollkontur sowie Geradheits-Parameter gemĂ€ĂŸ ISO 12780

NĂ€chster Spot
Beschichtung

Direkte Schichtdickenbestimmung bei transparenten OberflĂ€chen, bei opaque OberflĂ€chen wird die Schichtdicke ĂŒber eine Stufenhöhenanalyse bestimmt

NĂ€chster Spot
FlÀche (A)

Berechnung von FlÀcheninhalten bei Spitzen und Mulden sowie Ermittlung von maximalen Erhebungen/Vertiefungen

NĂ€chster Spot

Die neuen Mahr Weißlichtinterferometer

Das MarSurf WI 50 M ist die manuelle Einstiegslösung in die neue Mahr Weißlichtinterferometrie. Die Steuerung ist im Stativ integriert, und der funktionale Kipptisch und die manuellen x-, y- und z-Achsen erleichtern Anwendern die Verstellung und Fokussierung. Weitere Pluspunkte sind das kompakte Design und der große Bauraum, ebenso wie ein interessantes Preis-Leistungs-VerhĂ€ltnis.

 

Die beiden OberflĂ€chenprofis fĂŒr den Nanometerbereich MarSurf WI 50 und WI 100 liefern 3D-Messwerte schnell und in wenigen Schritten. Ihre HD-Stitching-Funktion sorgt fĂŒr eine konstant hohe Auflösung auch bei großen MessflĂ€chen. Die integrierte Kollisionsdetektion bietet Sicherheit in alle Richtungen – fĂŒr das WerkstĂŒck ebenso wie fĂŒr das GerĂ€t selbst.
Das High-End-GerĂ€t MarSurf WI 100 verfĂŒgt zusĂ€tzlich ĂŒber motorisierte Achsen fĂŒr wiederkehrende Messaufgaben.

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Wir nehmen gern Kontakt zu Ihnen auf!

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